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电子级氢氟酸

 

分子式:HF 分子量:20.01
产品标准:GB620-2011

级别

制程技术 (um)

应用领域

金属杂质 ( ppb )

微粒子 ( 个/ml )

EL

>1.2

光伏 ; TFT顯示屏 LED

≦100

≦25 ( ≧1.0 um )

UP

0.8 - 1.2

光伏; LED ; 玻璃薄化 ;显示屏; IC 芯片 < 6”

≦10

≦25 ( ≧0.5 um )

UPS

0.2 - 0.6

LED ; 显示屏 ; IC 封 装 ; IC 芯片 ≦6”

≦1

≦5 ( ≧0.5 um )

UPSS

0.09 - 0.2

IC 芯片 8” ; 12”

≦0.1 ( 100 ppt )

≦200(待议) ( ≧0.2 um )

 

性 状:无色透明溶液,有强烈刺激性气味,剧毒,并有强烈的腐蚀性。
用 途:用于化工、冶金、玻璃、矿山和石油开采、光伏、原子能工业化学试剂、超高纯氢氟酸应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和蚀刻 。
贮 存:防潮、密封保存,贮存于通风良好的库房中。
运 输:运输中作为一级无机酸性腐蚀物品。
包 装:依用户要求充装。

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