分子式：C₄F₆
分子量：162
CAS 号：685-63-2

性 状： 易燃、有毒、无色、无味的刚瓶装液化压缩气体，吸入有害，与空气混合后，浓度达到7%时，有立即燃烧和爆炸危险
用 途： 半导体的等离子蚀刻，优良的干蚀刻气体。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂
贮 存： 贮存在阴凉通风处，容器保持密闭。贮存在原容器中的温度不超过50℃。避免阳光直射。注意不要与氧化剂一起混贮。远离烟火。
运 输： 按照压缩气体和液化气体有毒气体标准运输
包 装： 10L或47L钢瓶压缩包装， 或依客户要求包装