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电子级氟化铵溶液

执行标准:GB/T 30901-2014

项目

指标

UP级

UP-S级

氟化铵含量 w/%   ≤

40.0±1.0

40.0±1.0

色度/Hazen ≤

10

10

PH(10g/L溶液,25℃ ≤

6.0-7.5

6.0-7.5

氯化物(以Cl计) w/(mg/kg)   ≤

5

3

硝酸盐(以NO3计) w/(mg/kg)   ≤

5

3

磷酸盐(以PO4计) w/(mg/kg)   ≤

5

1

硫酸盐(以SO4计) w/(mg/kg)   ≤

5

3

铝(Al)w/(μg/kg)  ≤

5

1

砷(As)w/(μg/kg)  ≤

5

1

硼(B)w/(μg/kg) ≤

5

1

钡(Ba)w/(μg/kg) ≤

5

1

钙(Ca)w/(μg/kg) ≤

5

1

镉(Cd)w/(μg/kg) ≤

5

1

铬(Cr)w/(μg/kg) ≤

5

1

铜(Cu)w/(μg/kg)  ≤

5

1

铁(Fe)w/(μg/kg) ≤

5

1

钾(K)w/(μg/kg) ≤

5

1

锂(Li)w/(μg/kg) ≤

5

1

镁(Mg)w/(μg/kg) ≤

5

1

锰(Mn)w/(μg/kg) ≤

5

1

钠(Na)w/(μg/kg) ≤

5

1

镍(Ni)w/(μg/kg) ≤

5

1

铅(Pb)w/(μg/kg) ≤

5

1

钛(Ti)w/(μg/kg) ≤

5

1

锑(Sb)w/(μg/kg) ≤

5

1

锡(Sn)w/(μg/kg) ≤

5

1

锌(Zn)w/(μg/kg) ≤

5

1

颗粒

(≥0.5μm)/(个/mL) ≤

-

10

(≥0.2μm)/(个/mL) ≤

-

-

 

用途:该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业 。

 

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