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电子级氢氟酸
分子式：HF 分子量：20.01
产品标准：GB620-2011
| 级别 | 制程技术 (um) | 应用领域 | 金属杂质 (ppb) | 微粒子 (个/ml) |
| EL | >1.2 | 光伏；TFT显示屏LED | ≦100 | ≦25(≧1.0um ) |
| UP | 0.8-1.2 | 光伏；LED；玻璃薄化；显示屏；IC芯片<6” | ≦10 | ≦25(≧0.5um ) |
| UPS | 0.2-0.6 | LED；显示屏；IC封装；IC芯片≦6” | ≦1 | ≦5(≧0.5um ) |
| UPSS | 0.09-0.2 | IC芯片8”；12” | ≦0.1 (100ppt) | ≦200（待议）( ≧0.2 um） |
| UPSSS | 0.014-0.09 | IC芯片12” | ≦0.01 (10ppt) | ≦20(≧0.1um)、≦10(≧0.2um) |
性 状：无色透明溶液，有强烈刺激性气味，剧毒，并有强烈的腐蚀性。
用 途：用于化工、冶金、玻璃、矿山和石油开采、光伏、原子能工业化学试剂、超高纯氢氟酸应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和蚀刻 。
贮 存：防潮、密封保存，贮存于通风良好的库房中。
运 输：运输中作为一级无机酸性腐蚀物品。
包 装：依用户要求充装。
