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ヘキサフルオロブタジエン
分子式：C4F6
分子量：162
CAS番号：685-63-2
| 事業 | 索引 | ||
| 外観 | 無色、濁っていない | ||
| ヘキサフルオロブタジエン含有量 | ≥98％ | ||
| 水分 | ＜50PPm（V） | ||
| N2 | ＜80PPm（V） | ||
| O2 | ＜20PPm（V） | ||
| CO2 | ＜20PPm（V） | ||
特性：可燃性、毒性、無色、無味のボトル入りの液化圧縮ガス、吸入に有害、空気と混合すると、濃度が7％に達すると、すぐに燃焼や爆発の危険があります。
用途：半導体のプラズマエッチング、優れた乾燥性エッチングガス。フッ素含有ゴム、合成フッ素含有エラストマー、電気特性に優れた樹脂
保管：涼しく換気の良い場所に保管し、容器をしっかりと閉めてください。元の容器に保管されている温度は50°Cを超えません。直射日光を避けてください。酸化剤と混合して保管しないように注意してください。花火に近づかないでください。
輸送：圧縮ガスおよび液化ガスの有毒ガス基準に準拠
パッキング：10Lまたは47Lスチールシリンダー圧縮パッケージ、または顧客の要件に応じたパッケージ
